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非接觸檢測
使用雷射讀頭讀值，改善以往接觸式檢測方式之， 速度慢、校正困難、誤差大及基板刮傷壓傷的困擾。
高精度量測
使用差動微分量測電路使系統具抗雜訊能力， 可使檢測精度提升至±0.006mm.。
可連線作業
由於檢測速度快，配合輸送機構， 可達到線上全檢目的。
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